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波前傳感器(PHASICS)

自適應光學系統在高功率激光中具有重要作用,可以改善光束聚焦,提高應用端的峰值功率密度。

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波前傳感器-PHASICS

自適應光學系統在高功率激光中具有重要作用,可以改善光束聚焦,提高應用端的峰值功率密度。Phasics的SID4系列波前傳感器結合客戶選擇的變形鏡系統,提供了最精細的相位校正能力,可基于多年的自適應光學經驗為客戶提供最佳反饋和控制方案。

產品特點:

  •  高分辨率-160x120 相位圖
  • 消色差-400-1100 nm范圍均可使用
  • 自參考-對外界振動不敏感
  • 結構緊湊
  • 適應性強-直接測量發散或準直光束

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SID4的范圍從UV到IR

型號詳見下表:

  光譜范圍 有效孔徑(mm²) 空間分辨率 采樣相位點 相位精度 相位分辨率 真空度
SID4 UV 250-400 nm 7.4x7.4 29.6 µm 250x250 10 nm RMS 2 nm RMS -
SID4 UV HR 190-400 nm 13.84x10.89 38.88 µm 355x280 10 nm RMS 1 nm RMS -
SID4 V 400-1100 nm 4.73x3.55 29.6 µm 160x120 10 nm RMS <2 nm RMS >10-6 mbar
SID4 400-1100 nm 5.02x3.75 27.6 µm 182x136 10 nm RMS <2 nm RMS -
SID4 HR 400-1100 nm 9.98x8.64 24 µm 416x360 20 nm RMS <2 nm RMS -
SID4 UHR 400-1100 nm 15.16x15.16 29.6 µm 512x512 - <2 nm RMS -
SWIR 0.9-1.7 µm 9.6x7.68 120 μm 80x64 15 nm RMS <2 nm RMS -
SWIR HR 0.9-1.7 µm 9.6x7.68 60 µm 160x128 15 nm RMS <2 nm RMS -
eSWIR 0.9-2.35 µm 9.6x7.68 120 µm 80x64 <40 nm RMS <6 nm RMS -
DWIR

3-5 µm&8-14 µm

10.08x8.16 68 µm 160x120 75 nm RMS 25 nm RMS -
LWIR 8-14 µm 16 x 12 100 µm 160 x 120 75 nm RMS 25 nm RMS  

Phasics 的SID4 波前傳感器可以兼容任何類型的變形鏡系統,在拍瓦激光系統中,搭配法國ISP 公司的機械式變形鏡系統,為客戶提供性價比最高的波前測量和控制方案。

除了校正激光系統中的像差等波前扭曲之外,SID4還可以放置在聚焦元件(比如離軸拋物面鏡)的后面,如偏離軸的拋物面鏡,以實現最佳聚焦。該傳感器還可以控制變形鏡的姿態,從而控制聚焦點的三維位置。

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對于研究激光與氣體相互作用以產生電子或次級輻射源的研究人員來說,SID4不僅提供了與變形鏡系統匹配的最佳聚焦點,還可以準確診斷離子化條件下氣體靜態和動態密度,從而更好地理解激光-氣體相互作用過程,并分析電子或次級輻射源的相應特性。以下圖片來自LBNL的Bella實驗室和法國LOA超強激光設施。

典型應用:

  • 精確光束相位診斷
  • 氣體和等離子體密度測量
  • 自適應光學系統
  • 在線光學質量檢測

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型號
參數
下載
SID4 UV
作為最低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器,SID4 UV非常適合于紫外光學測量,包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征,以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。
SID4 UV HR
可在190 nm至400 nm的紫外波段提供無與倫比的高相位分辨率(355 x 280取樣分辨率)和極高的相位靈敏度(優于1 nm RMS)。 因此,SID4 UV HR非常適合用于光刻,半導體等領域的光學組件表征和表面面型檢測(透鏡和晶圓等)。
SID4 V
該款真空兼容設備可便于使用者在實際實驗條件下實現波前的原位測量,可表征脈寬壓縮裝置中的短脈沖激光束,并測量高能激光靶點附近的氣體與等離子體密度。 SID4 V還可以用于環境測試期間的波前測量。
SID4
2 nm RMS;高相位靈敏度;400 - 1100 nm工作波長范圍內自消色差,瞬時相位測量;
SID4 HR
超高相位分辨率(416 x 360)和高動態范圍(500 μm PV)
SID4 UHR
非常適用于表面面型的檢查(表面粗糙度、高頻率波前像差及表面缺陷檢測等)和光學組件的表征(鏡頭、物鏡、非球面和自由曲面光學等)。 SID4-UHR可提供高達512 x 512(可選最高至666 x 666)相位取樣分辨率
SID4 SWIR
高取樣分辨率(80 x 64相位取樣點);高靈敏度;可提供從900 nm到1.7μm波段的精準波前測量
SID4 SWIR HR
超高取樣分辨率(160 x 128相位取樣點)和高靈敏度,它提供了從900 nm到1.7 μm波段的高精度波前測量。
SID4 eSWIR
市面上唯一覆蓋0.9至2.35 μm擴展短波紅外波段的高分辨率波前傳感器。
SID4 DWIR
市面唯一一款同時覆蓋3 - 5 μm中紅外和8 - 14 μm遠紅外的雙波段紅外高分辨率波前傳感器。
SID4 LWIR
8μm至14μm長波紅外波段實現高分辨率波前測量

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